Sistema Forno PECVD
Questo prodotto è un sistema PECVD di medie dimensioni con apertura a scorrimento. Questo sistema di forno tubolare PECVD è dotato di un alimentatore RF al plasma, un sistema di miscelazione del gas a flusso di massa a tre vie (con intervalli di 1-100 SCCM, 1-200 SCCM e 1-200 SCCM), un forno a tubo aperto da 60 mm di diametro (con flangia per vuoto e tubazioni di collegamento) e una pompa meccanica.
Informazioni sul prodotto
| Modello del prodotto | Sistema di forno tubolare PECVD scorrevole——OYS-1200C-II-60-PECVD (Φ60) |
| Principali parametri del prodotto | Alimentazione: 220V 50/60Hz; Potenza nominale: 3,1 kW; Temperatura massima di funzionamento: 1200°C (<0,5 h); Temperatura di funzionamento continuo: ≤1100°C; Velocità di riscaldamento consigliata: ≤10°C/min; Lunghezza della zona di riscaldamento: 440 mm; Termocoppia: tipo K |
| Caratteristiche principali | L'alimentazione RF può ottenere un miglioramento del plasma e ridurre significativamente la temperatura sperimentale; è possibile ottenere un rapido aumento e diminuzione della temperatura facendo scorrere il corpo del forno; lo stress del film può essere controllato dalla frequenza dell'alimentazione RF; la stechiometria può essere controllata mediante regolazione del processo; possono essere depositati vari materiali come SiOx, SiNx, SiOxNy e (a-Si:H) |
| Elemento riscaldante | Filo in lega ferro-cromo-alluminio 0Cr21Al6Nb |
| Dimensioni del tubo del forno | Diametro del tubo al quarzo opzionale: Φ60 |
| Sistema di controllo della temperatura | Include un controller di temperatura YD858; Controllo PID e regolazione automatica, controllo programmabile intelligente a 50 segmenti, con funzioni di allarme di sovratemperatura e esaurimento; precisione del controllo della temperatura: ± 1 ℃ |
| Alimentatore RF al plasma | Alimentatore RF da 300 W; Potenza in uscita: 0~300 W regolabile; Frequenza RF: 13,56 MHZ; Abbinamento automatico; Livello di rumore < 50 dB; Metodo di raffreddamento: raffreddamento ad aria; Tensione in ingresso: 180~250 V |
| Interfaccia della flangia di tenuta del vuoto | Configurazione standard: una coppia di flange per vuoto in acciaio inossidabile e anelli di tenuta in silicone per alte temperature; le flange di uscita sono flange a tre porte K16, KF25 e Φ8.2; la flangia di uscita può essere collegata all'adattatore KF25 con soffietto e quindi alla pompa del vuoto. |
| pompa a vuoto | Adottare la doppia pompa per vuoto meccanica a palette rotativa TRP-12; il grado di vuoto può raggiungere 10-2torr; gli accessori per il collegamento del vuoto sono dotati di fascette KF25 e soffietto in acciaio inox per il collegamento del forno tubolare e della pompa del vuoto |
| Sistema di fornitura del gas | Sistema di miscelazione a flusso di massa a tre vie - GYS-3Z; Alimentazione: 220V 50/60Hz; Campi di misura: 1-100 SCCM, 1-200 SCCM, 1-500 SCCM; Sul pannello frontale è installato un manometro meccanico collegato al tubo di miscelazione; Intervallo del manometro: -0,1-0,15 MPa; Dimensioni del serbatoio di miscelazione: Φ80*120mm; Il tubo di collegamento interno è Φ6,35 |
| Struttura del forno | Il corpo del forno può essere spostato a sinistra e a destra e l'alimentatore RF può essere spostato a sinistra e a destra. Il corpo del forno e l'alimentatore RF sono installati sulla stessa guida di scorrimento e utilizzano lo stesso tubo al quarzo. |
| Standard di certificazione e componenti principali | I componenti principali dell'intera macchina sono conformi agli standard CE, UL, MET e altri standard di certificazione; i componenti principali includono componenti elettrici ABB, fili e cavi certificati UL, strumenti Omega, Yudian, Continental, ecc. |
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Zhejiang Nengcheng Fibra di cristallo Co., Ltd.
Zhejiang Nengcheng Fibra di cristallo Co., Ltd. è stata fondata nel 2015. È un'azienda professionale che sviluppa e produce materiali ultraleggeri ad alta temperatura a risparmio energetico e vende forni elettrici da laboratorio, forni elettrici industriali e forni elettrici personalizzati non standard. Professionale Sistema Forno PECVD Produttori e Sistema Forno PECVD Fabbrica. L'azienda aderisce al principio di "sopravvivenza attraverso la qualità, sviluppo attraverso la reputazione" e sostiene la filosofia aziendale di "praticità, integrità ed efficienza". Ci impegniamo a fornire soluzioni complete e di alta qualità per le attrezzature ai clienti in settori come la ceramica, la metallurgia, l'elettronica, il vetro e l'ingegneria chimica. Forniamo anche servizi come la tostatura di polveri, la sinterizzazione di ceramiche e esperimenti ad alta temperatura a università, istituti di ricerca e imprese industriali e minerarie. Allo stesso tempo, ci impegniamo anche a promuovere lo sviluppo strategico della fibra di allumina ad alta temperatura leggera, a risparmio energetico e rispettosa dell'ambiente di Nengcheng nel campo dei nuovi forni e ci sforziamo di diventare un fornitore di servizi leader a livello internazionale nel settore delle attrezzature avanzate per alte temperature. Sistema Forno PECVD Personalizzato.
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